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レーザ加工機

簡易型エキシマレーザー加工機 LP-ES1

LP-ES1 簡易型エキシマレーザ加工機

簡易型エキシマレーザー加工機 LP-ES1 はKrFエキシマレーザを装備し、様々な材料に応じて微細な加工が行えます。


エキシマレーザー加工システム 正面図

エキシマレーザー加工システム 正面図

主な用途
  • ・アニーリング
  • ・薄膜の加工(トリミング、パターニング)
  • ・セラミックの加工(カッティング、トリミング、スクライビング)
  • ・有機物の加工(カッティング、ドリリング)
  • ・金属の加工
  • ・樹脂の加工
  • ・表面改質
  • ・その他各種マーキングなど
主な仕様
搭載レーザ
エキシマレーザー
波長
248nm、308nm、193nm
繰り返し周波数
用途、レーザ選択によります。
出力
レーザ機種によります。
光学系
用途により、以下から選択
 ・バリアブルアッテネータ
 ・集光光学系
 ・マスクイメージング光学系
 ・簡易式ホモジナイザー光学系
 ・フライアイ式ホモジナイザー光学系
ワークステージ
X300nm×Y300nm(ストローク・精度選択可)
Z軸、θ軸(オプション可)
ワーク観察
CCDカメラ(オフセット位置)
CCDカメラ(同軸位置)

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レーザ加工機製品一覧
AOVの強み

先端的なレーザー・光学技術と真空技術を融合し、新薄膜生成システム、精密加工システムを仕様用途に応じてカスタマイズすることにより、世界に1台の製品をご提供いたします。

AOVの新着情報
■ 17/02/06

【展示会出展のお知らせ】

2017/3/14(火)〜17(金)までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 15/03/05

【展示会出展のお知らせ】

2015/3/11(水)〜14(土)まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年 第62回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 14/06/09

【展示会出展のお知らせ】

2014/9/17(水)〜20(土)まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 09/12/10

【NIMNOWの表紙に
 弊社装置が掲載】

独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。 NIMSNOW2009年11月号