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真空部品

レーザ・光学系に関連したレーザ導入真空部品の多くを取り扱っており、弊社WEBサイトに記載されていない製品もカスタマイズして提供しております。

SiC基板加熱機構

SiC基板加熱機構

発熱体の素材によって、加熱可能な範囲が変わります。
SiC材を用いて利用することにより効果的な加熱機構を構築できます。


レーザ導入真空部品

レーザ導入真空部品

成膜前後において、投入するパルスエネルギーを測定する真空部品や合成石英窓などを取り扱っております。


トランスファー機構

トランスファー機構

真空チャンバー間にてサンプルの移動、受け渡しに使用します。角度を変えられるTilt機構付もご提案できます。


ビューポート付ハッチ

ビューポート付ハッチ

ビューポート関連製品


パターンプレート機構

パターンプレート機構

パターンプレート機構関連製品


タッチパネル式プロセス制御

タッチパネル式プロセス機構

タッチパネル関連製品


膜厚計

膜厚計

膜厚計関連製品


バイアス/逆スパッタ

バイアス/逆スパッタ

バイアス/逆スパッタ関連製品


分子セル/抵抗過熱蒸着

分子セル/抵抗過熱蒸着

分子セル/抵抗過熱蒸着関連製品


イオンソース

イオンソース

イオンソース関連製品


ラジカルビーム源

ラジカルビーム源

ラジカルビーム源関連製品


グローブボックス連結

グローブボックス連結

グローブボックス連結関連製品


真空対応パスボックス

真空対応パスボックス

真空対応パスボックス関連製品


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真空部品製品一覧
AOVの強み

先端的なレーザー・光学技術と真空技術を融合し、新薄膜生成システム、精密加工システムを仕様用途に応じてカスタマイズすることにより、世界に1台の製品をご提供いたします。

AOVの新着情報
■ 17/02/06

【展示会出展のお知らせ】

2017/3/14(火)〜17(金)までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 15/03/05

【展示会出展のお知らせ】

2015/3/11(水)〜14(土)まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年 第62回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 14/06/09

【展示会出展のお知らせ】

2014/9/17(水)〜20(土)まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 09/12/10

【NIMNOWの表紙に
 弊社装置が掲載】

独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。 NIMSNOW2009年11月号