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真空部品

LIWシリーズ レーザ入射用窓02

LIWシリーズ PLD/レーザーMBE用
レーザ導入窓(UVグレード合成石英)

LIWシリーズ レーザ入射用窓は真空内にレーザを導入するICF規格のUVレーザ対応の合成石英窓です。利便性、ご使用の真空度により、ご選択いただきます。


LIWシリーズ レーザ入射用窓

接続フランジ ICF70
LIW-70L
O-ring(バイトン)シール式
真空度 : 5×10-7Torr〜5×10-8Torr
LIW-70U
メタルガスケットシール式
ベーキング温度 : 200℃
真空度 : 1×10-11Torr
LIW-70X
メタルガスケットシール式
ベーキング温度 : 350℃
ヘリウムリーク量 : 1×10-11pa・㎥/sec
接続フランジ ICF114
LIW-114L
O-ringシール式
真空度 : 5×10-7Torr〜5×10-8Torr
LIW-114U
メタルガスケットシール式
ベーキング温度 : 200℃
真空度 1×10-11Torr
LIW-114X
メタルガスケットシール式
ベーキング温度 : 350℃
ヘリウムリーク量 : 1×10-11pa・㎥/sec
ご要望に応じます

・AR(反射防止膜)コート対応可能。
 UV(エキシマ・YAG)レーザの戻り光による減衰防止や
 赤外波長(半導体・YAG・ファイバー)レーザー加熱用としてご愛用頂いております。

・大型サイズ、ICF152もしくはそれ以上、VFフランジ、矩形等ICF規格以外の対応も行います。


その他オプション

SiC基板加熱機構 | レーザ導入窓 | トランスファー機構 | ビューポート付ハッチ
パターンプレート機構 | タッチパネル式プロセス機構 | 膜厚計 | バイアス/逆スパッタ
分子セル/抵抗過熱蒸着 | イオンソース | ラジカルビーム源 | グローブボックス連結
真空対応パスボックス


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真空部品製品一覧
AOVの強み

先端的なレーザー・光学技術と真空技術を融合し、新薄膜生成システム、精密加工システムを仕様用途に応じてカスタマイズすることにより、世界に1台の製品をご提供いたします。

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■ 17/02/06

【展示会出展のお知らせ】

2017/3/14(火)〜17(金)までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 15/03/05

【展示会出展のお知らせ】

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■ 14/06/09

【展示会出展のお知らせ】

2014/9/17(水)〜20(土)まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 09/12/10

【NIMNOWの表紙に
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独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。 NIMSNOW2009年11月号