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真空装置

TEAD-2000大型EB装置

TEAD-2000大型EB装置

試作・生産に適したE型電子銃薄膜生成装置です。

電子銃本体の上下機構とマルチハース搭載電子銃により多種類の材料の成膜が可能
(多点切り替えセンサーと組み合わせで
 長時間連続稼働)

成膜エリア70mmx200mmの広範囲成膜可能
(ご依頼により変更可能)



TEAD-2000大型EB装置
排気・圧力制御 操作画面例


TEAD-2000大型EB装置
酸素雰囲気中絶縁物蒸着例


主な仕様
蒸着材料
金属、絶縁物、各種誘導体材料
ハース形状
φ30mm〜40mm(材料、仕様により変更可)最大4点ハース
単一多量材料用のアニュラーハースも対応可
※ご要望により変更可能
成膜エリア
70mm×200mm(T/S距離、条件に依存)
ビーム走査範囲
〜φ30mm(材料に依存)
実装例

5KW電子ビーム

■ 5KW電子ビーム
・270度偏向タイプ酸素雰囲気中での
 長時間安定性
・ハース回転機構と基板ー蒸発源
 距離可変(手動)機構組み合わせ可
 (オプション)
・ビームスキャン方式で絶縁物の
 安定蒸着
・マルチハース(最大4連)搭載
・蒸着膜厚制御、12点自動切換え方式
 (オプション)
・各種ハースライナー(オプション)


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真空装置製品一覧
AOVの強み

先端的なレーザー・光学技術と真空技術を融合し、新薄膜生成システム、精密加工システムを仕様用途に応じてカスタマイズすることにより、世界に1台の製品をご提供いたします。

AOVの新着情報
■ 17/02/06

【展示会出展のお知らせ】

2017/3/14(火)〜17(金)までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 15/03/05

【展示会出展のお知らせ】

2015/3/11(水)〜14(土)まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年 第62回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 14/06/09

【展示会出展のお知らせ】

2014/9/17(水)〜20(土)まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 09/12/10

【NIMNOWの表紙に
 弊社装置が掲載】

独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。 NIMSNOW2009年11月号